電子十萬級無塵車間建設要求

所謂半導體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級標準以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數計算。根據潔凈度不同分為100級（小于3.5個），1000級（小于35個），10000級（小于350個），100000級（小于3500個）。

潔凈度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規范受控，另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內極易產生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關溫濕度規定）。這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業潔凈室的重要組成部分，由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。

電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級（空態）：不應大于65dB(A)

電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。

電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa

電子制造行業萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的值：補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。電子制造行業潔凈室凈化空調系統加熱器，應設置新風，超溫斷電保護，若采用點加濕時應設置無水保護，寒冷地區，新風系統應設置防凍保護措施。無塵室的送風量，應取下面三項值：

保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量；

根據熱，濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風量；

向電子制造廠潔凈室內供給的新鮮空氣量；

WOL承接 電子潔凈車間 加工廠房 設計裝修——WOL承接 電子潔凈車間 加工廠房 設計裝修